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Wafer & Precision Instrument Motion Stage

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  • 高精密大理石三軸運動平臺,平臺采用大理石,提供更穩定和高平面度的運行環境,運動機構采用直線電機與高精密絲桿龍門組合形式,滿足超高精密平面定位和精密上下移動。采用PLC編程控制系統,客戶可自行根據行業和工藝流程而編程,自由度高。非標定制產品,請咨詢我司業務人員。

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    Tips:絲桿直線模組行程超過750mm時,會產生螺桿偏擺,此時請將降低速度,詳情參數及選型建議咨詢業務人員。

大理石三軸運動平臺

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