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精密運動平臺定做廠家

Wafer & Precision Instrument Motion Stage

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xy軸精密定位平臺

  • 一般環境使用

  • xy軸精密大理石直線電機定位平臺，采用無鐵芯直線電機和SP級交叉滾子導軌，全套雷尼紹光柵，檢測精度0.1um，多應用于晶圓檢測、電子顯微鏡平臺、LCD封裝檢測、透鏡激光3D熔覆加工等各種高精密制造檢測。

  • 產品參數

    重復定位精度：±0.001mm
    絕對定位精度：±0.004mm
    XYZ三軸行程：X500mm/Y500mm/Z200mm
    非標定制產品，配置價格請咨詢！
    *絕對定位精度需通過軟件修正。

    Tips：絲桿直線模組行程超過750mm時，會產生螺桿偏擺，此時請將降低速度，詳情參數及選型建議咨詢業務人員。

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直線電機運動平臺


XYZ三軸高精密大理石直線電機平臺，采用無鐵芯直線電機和SP級交叉滾子導軌，全套雷尼紹光柵，檢測精度0.1um，多應用于晶圓檢測、電子顯微鏡平臺、LCD封裝檢測、透鏡激光熔覆加工等各種高精密制造檢測。


XYZ三軸行程：X500mm/Y500mm/Z200mm（客戶定制）

重復定位精度：±0.001mm

絕對定位精度：±0.004mm

應用行業：晶圓檢測、電子顯微鏡平臺、LCD封裝檢測、透鏡激光3D熔覆加工等；

*絕對定位精度需通過軟件修正。

*Z軸采用直線電機配恒力彈性裝置，保證Z軸斷電保護。